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桌面式隔振平臺(tái) 大多數(shù)光學(xué)實(shí)驗(yàn)或工業(yè)生產(chǎn)都對(duì)系統(tǒng)穩(wěn)定性有較高的要求。各種因素造成的振動(dòng)會(huì)導(dǎo)致儀器測(cè)量結(jié)果的不穩(wěn)定性和不準(zhǔn)確性,嚴(yán)重干擾生產(chǎn)和實(shí)驗(yàn)的進(jìn)行。
隨著*的設(shè)備和工藝的發(fā)展,使納米量級(jí)的測(cè)量成為可能。例如,變相光學(xué)干涉儀測(cè)量物體的表面粗糙度,目前可以達(dá)到1納米的分辨率。在半導(dǎo)體領(lǐng)域,已生產(chǎn)出線寬在亞微米量級(jí)的集成電路,提出測(cè)量準(zhǔn)確率小于50納米的精度要求。
為了提高系統(tǒng)的穩(wěn)定性,我們可以從以下的幾個(gè)方面來(lái)著手。
1、將系統(tǒng)與振源隔離
外界的振源來(lái)源很多,比如地面的自振,各種聲音等等。但是影響較大的是各種低頻的振源,主要集中在10~100Hz頻率內(nèi)。將系統(tǒng)與這些振源隔離可以有效的提高系統(tǒng)的穩(wěn)定性。采用大阻尼的空氣彈簧支撐方式可以較好的將系統(tǒng)與振源隔離。
2、控制振動(dòng)的作用
將系統(tǒng)組裝成動(dòng)態(tài)的剛性結(jié)構(gòu)可以保證系統(tǒng)內(nèi)部的相對(duì)穩(wěn)定性,且可以降低在外界的影響下產(chǎn)生共振的幾率,提高系統(tǒng)的穩(wěn)定性。
3、控制靜力矩的作用
桌面式隔振平臺(tái)的硬重比對(duì)于其共振頻率有著重要的影響。較高的硬重比可以提高桌面式隔振平臺(tái)的共振頻率,從而降低其在外界影響下的振動(dòng)。而且在外力作用下,具有較高硬重比的桌面式隔振平臺(tái)可以在小的重量下產(chǎn)生小的變形,增加系統(tǒng)內(nèi)部的剛性。內(nèi)部采用蜂窩狀支撐結(jié)構(gòu)的桌面式隔振平臺(tái)可以充分的提高硬重比,達(dá)到提高系統(tǒng)性能的目的。
4、控制溫度變化
隨著時(shí)間的延續(xù),不規(guī)則溫度變化會(huì)造成漸漸的結(jié)構(gòu)彎曲。減小溫度效應(yīng)的關(guān)鍵在于控制環(huán)境減少溫度變化。例如,避免在桌面式隔振平臺(tái)下放置散熱設(shè)備,隔絕熱源設(shè)備和硬件,如光源、火焰等。
5、盡可能將臺(tái)面設(shè)計(jì)成對(duì)溫度不敏感的
良好的熱傳導(dǎo)性可起到作用,然而,在特殊的應(yīng)用中,選用不隨溫度變化而改變外形尺寸的特殊材料是必要的。例如超不脹鋼,具有極小的熱膨脹系數(shù)。一米長(zhǎng)的超不脹鋼在溫度變化1K時(shí)膨脹長(zhǎng)度約0.2微米。